কোন কারণগুলি উচ্চ নির্ভুলতা লিনিয়ার রেলের যথার্থতা প্রভাবিত করে?

কোন কারণগুলি উচ্চ নির্ভুলতা লিনিয়ার রেলের যথার্থতা প্রভাবিত করে?

উচ্চ নির্ভুলতা লিনিয়ার রেল(সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন, নির্ভুলতা পরীক্ষার সরঞ্জাম, উচ্চ - শেষ মেশিন সরঞ্জাম এবং অন্যান্য পরিস্থিতিগুলিতে ব্যবহৃত হয়, সি 5 এর যথার্থতা স্তর এবং উপরে, একাধিক লিঙ্কগুলির উপর নির্ভরশীল এবং এর প্রভাবগুলির মধ্যে বিভাগের উপর নির্ভরশীলতার সাথে সম্পর্কিত বিভাগগুলির মধ্যে আরও কম জটিলতাগুলির মধ্যে রয়েছে এবং এর সাথে জড়িত রয়েছে এবং এর সাথে সম্পর্কিত বিষয়গুলির উপর নির্ভরশীলতাগুলির উপর নির্ভরশীলতা রয়েছে এবং এর উপর নির্ভরশীলতা রয়েছে।

প্রথমত, প্রভাবক কারণগুলির উত্পাদন শৃঙ্খলার মূল
1। উপাদান এবং তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়া
উপাদান অভিন্নতা:
বডি বেশিরভাগ উচ্চ - কার্বন ক্রোম বিয়ারিং ইস্পাত (যেমন সুজ 2) বা সিরামিক উপকরণ ব্যবহার করে গাইড করুন, যদি আলগা, পৃথকীকরণ বা নন - ধাতব অন্তর্ভুক্তি (আকার> 5μm প্রভাবিত হতে পারে) এর সাথে {{{{{{{{{}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}} Deption of the {get ছোট বিকৃতিগুলির (যেমন বক্রতা, মাইক্রো -} ক্র্যাক) পণ্যটির সোজাতা ক্ষতিগ্রস্থ হবে।

তাপ চিকিত্সার নির্ভুলতা:
যদি কঠোর প্রক্রিয়া চলাকালীন তাপমাত্রা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ না করা হয় (যেমন হিটিং হারের ওঠানামা ± 5 ডিগ্রি), এটি গাইড রেল পৃষ্ঠের অসম কঠোরতার দিকে পরিচালিত করবে (এইচআরসি 58 - 62 এবং 1 এইচআরসি-র চেয়ে কম বা তার সমান বিচ্যুতি), স্থানীয় পরিধানের পার্থক্যটি অবিচ্ছিন্নভাবে অকার্যকরতা এবং ক্রমবর্ধমান ত্রুটির দিকে পরিচালিত করবে; এবং টেম্পারিং যথেষ্ট নয় অবশিষ্টাংশের অভ্যন্তরীণ চাপগুলি হবে, ফলে সময়ের সাথে সাথে গাইড রেলের অল্প পরিমাণে বিকৃতি ঘটে (যেমন বছরের প্রতিটি মিটারের দৈর্ঘ্যের বিকৃতি হিসাবে ＞ 0.002 মিমি যা নির্ভুলতার উপর প্রভাব ফেলে) {{5} mm মিটার দৈর্ঘ্যের প্রতি বার্ষিক বিকৃতকরণের মিমি যথাযথভাবে প্রভাবিত করবে)।

2। যথার্থ মেশিনিং প্রক্রিয়া
গাইড রেল ক্রস - বিভাগ মাইক্রো - যথার্থতা:
গাইড রেল রেসওয়ে ব্যাসার্ধের বক্রতা সহনশীলতার ব্যাসার্ধ ± 0.001 মিমি (± 0.01 মিমি জন্য সাধারণ গাইড) এ নিয়ন্ত্রণ করা দরকার, যদি বিচ্যুতি খুব বেশি হয় তবে বল এবং রেসওয়ে যোগাযোগের পয়েন্ট অফসেটকে নিয়ে যায়, যার ফলে অতিরিক্ত টর্ক হয়, সোজাতার ক্রিয়াকলাপকে প্রভাবিত করে; ডেটাম বিমানের গাইড পাশের জন্য 0.002 মিমি/100 মিমি (0.01 মিমি/100 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান সাধারণ গাইড) এর চেয়ে কম বা সমান প্রয়োজন, অন্যথায় ইনস্টলেশনটি ইনস্টল করা যায় না, গাইডটি . 100 মিমি ব্যবহার করা যায় না), অন্যথায় ইনস্টলেশনটি রেফারেন্স পৃষ্ঠের মাধ্যমে অবস্থানের যথাযথতার গ্যারান্টি দিতে পারে না।

গ্রাইন্ডিং প্রক্রিয়া স্থায়িত্ব:
যথার্থ গাইডওয়ের চূড়ান্ত প্রক্রিয়াজাতকরণ আল্ট্রা - যথার্থ নাকাল (গ্রাইন্ডিং হুইল স্পিড 15000 আর/মিনিটের সমান বা সমান) এর উপর নির্ভর করে, যদি গ্রাইন্ডিং হুইল পরিধানটি অভিন্ন না হয় (যেমন প্রতি ঘন্টা ＞ 0.002 মিমি পরিধান), এর সাথে ডালপারের জন্য (± 0.001 মিমি বা কম যোগ্যতা অর্জন করবে), এর সাথে প্রবাহিত হবে (± 0.001 মিমি বা কম) থেকে 0.1μm/25 মিমি), যা স্লাইডারের ক্রিয়াকলাপের মসৃণতাটিকে সরাসরি প্রভাবিত করে।

3। সমাবেশ এবং জোড় নির্ভুলতা
যথার্থ গাইড রেল সাধারণত "রেল -} স্লাইডার" জুড়ি গ্রাইন্ডিং প্রক্রিয়া ব্যবহার করা হয়, যদি স্টিলের বল ব্যাস সহনশীলতার জুটি (প্রয়োজনীয়তাগুলি কম বা ± 0.0005 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান) বেমানান, স্লাইডারে সার্কুলেটিং চ্যানেলের অবস্থানগত বিচ্যুতি (কমপ্লিটের চেয়ে কম বা সমানভাবে ± 0.002 মিমি এর সমান বা সমানভাবে ± 0.002 মিমি সমান বা সমানভাবে নেতৃত্ব দেবে 0.001 মিমি)। (প্রশস্ততা 0.001 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান), অবস্থানের নির্ভুলতার পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা হ্রাস করে।

দ্বিতীয়ত, ইনস্টলেশন এবং কমিশনিং কারণগুলি
1। ইনস্টলেশন ডেটাম নির্ভুলতা:
গাইড রেল ফ্ল্যাটনেসের বেসটি ইনস্টলেশনটি 0.005 মিমি/100 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান হওয়া দরকার (সাধারণ দৃশ্য 0.02 মিমি/100 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান), যদি কোনও ধাক্কা বা হতাশা থাকে তবে বাহিনীর গাইড রেল বিকৃতকরণের (0.003 মিমি এর পরিমাণের প্রভাবকে প্রভাবিত করে) গাইড রেল বিকৃতকরণের দিকে পরিচালিত করবে; বেস পৃষ্ঠের রুক্ষতা RA0.8μm এর চেয়ে কম বা সমান হওয়া দরকার, অন্যথায় স্থানীয় চাপগুলির সাথে অসম যোগাযোগের কারণে বল্টটি আরও শক্ত করা হবে। অন্যথায়, যখন বোল্টগুলি শক্ত করা হয়, অসম যোগাযোগের কারণে স্থানীয় চাপ তৈরি করা হবে।

একাধিক গাইড রেলগুলিকে বিভক্ত করার সময়, উচ্চতার পার্থক্য (0.002 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান) এবং মিস্যালাইনমেন্ট (0.003 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান) এর কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করা দরকার, অন্যথায় স্লাইডারটি জয়েন্টগুলির মধ্য দিয়ে যাওয়ার সময় প্রভাব ফেলবে, যথাযথভাবে তাত্ক্ষণিক জলাবদ্ধতার ফলে।

2। ইনস্টলেশন বন্ধন পদ্ধতি:
অসম বোল্ট প্রিলোড (প্রস্তাবিত টর্ক রেঞ্চ নিয়ন্ত্রণ, ত্রুটি ± 5%এর চেয়ে কম বা সমান) গাইড রেলের স্থানীয় নমন ঘটায়; যদি বোল্টের ব্যবধানটি খুব বড় (300 মিমি বেশি) হয় তবে দীর্ঘ সময় ধরে অপারেশনের পরে কম্পনের কারণে এটি আলগা করা যেতে পারে এবং অবস্থানের ত্রুটিটি জমে থাকবে।

আঠালো স্তরটির বেধ যদি অভিন্ন না হয় (বিচ্যুতি> 0.002 মিমি) তবে স্থির উপায়ের গাইড এবং বেস (যেমন আঠালো সহায়তায় বেঁধে রাখা বেঁধে দেওয়া), সোজাতা প্রভাবিত করে ট্রেস টিল্ট গাইডের দিকে পরিচালিত করে।

3। সমান্তরালতা এবং সহযোগিতা সমন্বয়:
যখন ডাবল গাইড ইনস্টল করা হয়, সমান্তরালতা ত্রুটিটি 0.003 মিমি/500 মিমি (সাধারণ দৃশ্য 0.01 মিমি/500 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান) এর চেয়ে কম বা সমান হওয়া দরকার, অন্যথায় স্লাইডারের উভয় প্রান্তের বলটি ভারসাম্যহীন, অতিরিক্ত ঘর্ষণ টর্ক তৈরি করে, ট্র্যাক অফসেট চলমান।

ড্রাইভ সিস্টেমের সাথে কোক্সিয়ালিটি বিচ্যুতি (0.005 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান) (যেমন বল স্ক্রু), যদি অতিক্রম করা হয় তবে ড্রাইভ ফোর্সের দিকনির্দেশ অফসেটের কারণে পার্শ্বীয় শক্তি উত্পন্ন করবে, গাইডওয়ের গতির যথার্থতা ধ্বংস করবে।

তৃতীয়ত, পরিবেশগত কারণগুলির ব্যবহার
1। তাপমাত্রার ওঠানামা:
নির্ভুলতা গাইড তাপমাত্রা পরিবর্তনের জন্য অত্যন্ত সংবেদনশীল, 1 ডিগ্রির পরিবেষ্টিত তাপমাত্রার ওঠানামা, গাইড (ইস্পাত) 0.011 মিমি / এম পরিবর্তনের দৈর্ঘ্যের তাপীয় প্রসারণ এবং সংকোচনের কারণে হবে (11 × 10-⁶ / ডিগ্রি লিনিয়ার সম্প্রসারণের সহগ), যদি সরঞ্জামগুলির একটি তাপমাত্রা ক্ষতিপূরণ ব্যবস্থা না থাকে তবে এটি সরাসরি অবস্থানের দিকে পরিচালিত করবে। উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর লিথোগ্রাফিতে, গাইডের তাপীয় বিকৃতি এড়াতে পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা 23 ± 0.1 ডিগ্রিতে নিয়ন্ত্রণ করা দরকার।

2। কম্পন এবং শক:
বাহ্যিক কম্পন (যেমন গ্রাউন্ড কম্পন ত্বরণ> 0.01g) মাইক্রো - স্লাইডিং (প্রশস্ততা> 0.0005 মিমি) এর মধ্যে গাইড এবং স্লাইডারকে নিয়ে যাবে, স্থির অবস্থানের নির্ভুলতা হ্রাস করে; ঘন ঘন ধাক্কা (যেমন মেশিনিং সরঞ্জামগুলিতে বলের ওঠানামা কাটার মতো) ইস্পাত বল এবং রেসওয়ে পরিধানকে ত্বরান্বিত করবে, যাতে দ্রুত অবনতির সাথে সময়ের ব্যবহারের যথার্থতা।

3। পরিচ্ছন্নতা এবং তৈলাক্তকরণ:
পরিবেশের ধুলা (কণা আকার> 0.5μm) রেসওয়েতে, ইস্পাত বল এবং রেসওয়ে গ্রাইন্ডিং পরিধানের দিকে নিয়ে যাবে, সংক্ষিপ্ত - নির্ভুলতায় মেয়াদ হ্রাস; গ্রিজ বিশুদ্ধতা (অপরিষ্কার কণাগুলি 0.001 মিমি এর চেয়ে কম বা সমান) এবং ফিলিং (প্রতিটি সময়ের পরিমাণ পুনরায় পূরণ করার জন্য প্রতি 100 কিলোমিটার অপারেশন) যথেষ্ট নয়, ঘর্ষণকে আরও বাড়িয়ে তুলবে, যার ফলে চক্রীয় নির্ভুলতা বিচ্যুতি ঘটে।

চতুর্থত, উপাদান এবং ক্ষতির কারণগুলির ব্যবহার
1। উপাদান স্থায়িত্ব:
Insufficient aging treatment of guideway material (e.g. residual stress >50MPa) will produce slow deformation (annual deformation >0.002 মিমি/মি) দীর্ঘ - শব্দের ব্যবহারে স্ট্রেস রিলিজের কারণে, ফলস্বরূপ প্রবাহের ফলে।

2। পরিধান এবং ক্লান্তি:
এমনকি আদর্শ কাজের অবস্থার অধীনে, ইস্পাত বল এবং রেসওয়ের মধ্যে যোগাযোগের চাপ (3000 এমপিএ বা আরও বেশি পর্যন্ত) ক্ষুদ্র পরিধানের দিকে পরিচালিত করবে এবং 100 কিলোমিটারের জমে থাকা অপারেশনের পরে, পুনরাবৃত্ত অবস্থানের নির্ভুলতা 0.001 -} 0.002 মিমি হ্রাস পেতে পারে; যদি অফ-লোডিং (লোড অফসেট সেন্টার ＞ 5 মিমি) থাকে তবে পরিধানটি আরও বাড়বে এবং নির্ভুলতা হ্রাসের গতি 3-5 বার বৃদ্ধি পাবে।

সংক্ষেপে, যথার্থতা উচ্চ নির্ভুলতা লিনিয়ার রেলগুলি হ'ল "উত্পাদন নির্ভুলতা - ইনস্টলেশন নিয়ন্ত্রণ - পরিবেশ পরিচালন -}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}} {}}} C চূড়ান্ত যথার্থতা ত্রুটিকে আরও বাড়িয়ে তুলতে পারে, তাই ডিজাইন এবং প্রয়োগের নিয়ন্ত্রণের পুরো প্রক্রিয়াটি সম্পাদন করা প্রয়োজনীয়।

আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন
📞 ফোন:+86-8613116375959
📧 ইমেল:741097243@qq.com
🌐 অফিসিয়াল ওয়েবসাইট:https: //www.automation - js.com/